五月繁華似錦,萬物欣欣向榮。5月18日,特種氣體生產(chǎn)廠家,中船重工718所新材料一期項(xiàng)目正式投產(chǎn),二期項(xiàng)目開工建設(shè)。筆者從該集團(tuán)公司了解到,這標(biāo)志著718所三氟化氮等特種氣體產(chǎn)品產(chǎn)能將取得新的突破。
高純電子特種氣體被形容為半導(dǎo)體工業(yè)的“血液”和“糧食”,是大規(guī)模集成電路、多晶硅、太陽能、光纖等先進(jìn)制造業(yè)的重要原材料,屬于國家加快扶持發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。然而早些年,相關(guān)產(chǎn)品被國外壟斷,市場定價(jià)權(quán)掌握在國外廠商手中。為破1解壟斷危機(jī)、搶抓市場機(jī)遇,718所于2000年組建特種氣體工程部,自籌經(jīng)費(fèi)立項(xiàng)開展研究,于2009年成功開發(fā)出高純?nèi)T摦a(chǎn)品被列入國家“重點(diǎn)新產(chǎn)品”及“火炬計(jì)劃”,應(yīng)用于國內(nèi)大部分的半導(dǎo)體、液晶、太陽能行業(yè),并出口美國、日本、法國、德國等國家。

高純氣體(High Purity Gases)氣體是工業(yè)名詞,電子特種氣體,通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。對(duì)于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同,例如對(duì)于氫,氮,氦,ya而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對(duì)于氧氣,純度為99.199%即可稱高純氧;對(duì)于碳?xì)浠衔铮兌葹?9199%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬,在半導(dǎo)體工業(yè),特種氣體廠,高純氮,氫,成都特種氣體,ya,氦可作為運(yùn)載氣,保護(hù)氣和配制混合氣的底氣。

電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投人、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè) 電子氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)制造、非晶硅太陽能電池、液晶顯 示器件、光導(dǎo)纖維生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)。半導(dǎo)體工業(yè)用氣體的特點(diǎn)是品種多、質(zhì)量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蝕性氣體。

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